簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Machine Learning".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="光罩圖案最佳化"


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    機器學習結合光罩圖案程序開發
    • 自動化及控制研究所 /108/ 碩士
    • 研究生: 陳賜平 指導教授: 郭鴻飛
    • 由於極紫外光微影系統技術尚未廣泛應用,目前生產線上仍大部分為ArF-193nm浸潤式微影系統,因此有許多研究者尋找此系統優化方法,其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應的最佳光源模…
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